一、半导废气处理成份
半导体行业废气主要成分为有机废气和酸碱废气两类。有机类成分：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等，酸碱类成分：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。
二、行业排放标准
三、半导体废气处理方法
一般半导体行业针对废气处理的解决方案如下：
(1)预处理阶段：采用喷淋塔先对废进行预处理，去除粉尘以及易溶于水的有害气体。
(2)主要处理阶段：在此阶段，比较常见而有效方法有：UV光解，生物过滤分解，焚烧和催化燃烧等。
由于每家企业具体产生的废气成分、风量大小、废气浓度不同，所以采用的半导体废气处理方法也会不同或者需要多种方法结合使用，具体处理方案可以咨询我们，我们将有工程师一对一为您定制废气处理方案。
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